超聲掃描顯微鏡ZMS-400
應用:
一 IC塑料封裝:集成電路行業檢測
1.自動識別封裝缺陷
2.封裝分層檢測
3.封裝內部結構、斷層檢測
二 功率電子器件塑料封裝
1.分層,空洞檢測
2.封裝分層檢測
三 功率電子裝片、粘片、連續爐焊
1 焊接空洞 壓片翹片、面包片、硅片裂紋
2.粘片質量檢測
3.熱沉焊接質量檢測
四 金剛石材料缺陷檢測
五 熔斷器焊接點檢測
銅箔與黃銅的點焊
六 復合材料內部氣孔斷層檢測
應用領域
高效率—— 根據20/80原則,車間現場80%的批量工件僅需做常規快速抽檢,不需要做詳細分析,因此可以使用400機型達到快速檢測。用于半導體、集成電路、低壓電器等行業的生產線的制程管控。適用于車間現場或小型理化實驗室。
產品參數
1、工作電源:220V/50Hz,1KW;
2、極大掃描范圍:200mm×100mm×100mm;
3、整機尺寸:400mm×500mm×500mm;(標配)
4、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標配,可升級至230MHz);
5、推薦圖像分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型掃描耗時:<45s (測試條件:掃描區域10mmX10mm,分辨率50um);
7、極大掃描速度:300mm/s;極大掃描加速度:5m/s2;
8、運動臺定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重復定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率:25~250MHz;(標配,可升級至1.5GHz);
10、每通道可調增益:-13~66dB;(標配,可升級);
11、脈沖重復頻率:5kHz;(標配,可升級)。
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